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產(chǎn)品名稱:

TOC超純水設(shè)備

產(chǎn)品品牌: Onyx/安力斯 價(jià)格:
廠商性質(zhì): 生產(chǎn)廠家 產(chǎn)品時(shí)間: 2024-07-22
TOC超純水設(shè)備指需電子行業(yè)用水,其水中要去除細(xì)菌、泥沙、膠體、懸浮物、金屬這些導(dǎo)電雜質(zhì)。其電阻率≥18MΩ/cm(25℃,EW-I)。

產(chǎn)品概述

TOC超純水設(shè)備

微電子行業(yè)制備超純水流程中,因紫外線技術(shù)在超純水高品質(zhì)要求中不引入新的物質(zhì),而得到廣泛應(yīng)用。

有機(jī)物是超純水系統(tǒng)中最難控制的污染,隨著集成電路臨界尺寸不斷縮小挑戰(zhàn),對超純水中TOC值的要求越來越高,因此,如何配置紫外線,如何確認(rèn)配置中紫外線設(shè)備的有效紫外劑量,進(jìn)而使TOC去除合格且水中溶解氧不升高,安力斯將為您解決這些運(yùn)營困擾。    

185nmUV主要用于去除超純水制備過程中的TOC,使出水滿足美國ASTM超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)及電子工業(yè)部電子級水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品介紹:

EX-UPW-TOC產(chǎn)品系列是一款適用于超純水 (UPW) 制備中對總有機(jī)碳 (TOC) 進(jìn)行降解的可靠系統(tǒng)。通過更高185nm穿透率、實(shí)時(shí)在線的紫外線強(qiáng)度監(jiān)測、本地/遠(yuǎn)程的智能控制,實(shí)現(xiàn)高效、安全可控的總有機(jī)碳 (TOC) 降解。該設(shè)備在超純水制備工藝中,可使超純水TOC降至1ppb以下。

產(chǎn)品主要組成:高強(qiáng)度185nm的紫外燈管,高輸出石英套管,內(nèi)外電解拋光的一體化紫外反應(yīng)器,高度精確的UV強(qiáng)度傳感器及智能自控系統(tǒng)組成。

 

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TOC超純水設(shè)備

產(chǎn)品規(guī)格:

處理水量

2~60m3/h

燈管配置

12~48支

燈管類型

85w/155w(185/254nm雙波段)

石英套管

T>80%@185nm

鎮(zhèn)流器

50~100%輸出功率可調(diào)

反應(yīng)器材質(zhì)

316L

潔凈等級

內(nèi)外電解拋光、表面光潔度10以上(≤Ra0.2)

法蘭尺寸

DN50~DN200

額定壓力

PN10

控制柜等級

IP55,碳鋼噴塑

控制系統(tǒng)

本地/遠(yuǎn)程、觸摸屏、連接SCADA系統(tǒng)

UV強(qiáng)度傳感器

分辨率0.01mw/cm2

 

 

 

 

 

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